KLA推出全新突破性的电子束缺陷检测系统

KLA推出全新突破性的电子束缺陷检测系统

今天KLA公司(纳斯达克股票代码:KLAC)宣布推出革命性的eSL10电子束图案化晶圆缺陷检查系统。该系统具有独特的检测能力,能够检测出常规光学或其他电子束检测平台无法捕获的缺陷...
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