东京电子、Lasertec等日企于EUV芯片光刻技术领域竞

东京电子、Lasertec等日企于EUV芯片光刻技术领域竞

在包括东京电子(Tokyo Electron)和Lasertec在内的日本芯片生产设备供应商日益激烈的竞争中,新一代半导体技术EUV光刻(极紫外光刻)是各方关注的焦点。 半导体的处理能力取决于电路...
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